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洛陽賽特瑞智能裝備有限公司

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服務熱線:

  • PECVD furnace system

PECVD furnace system

產品型號:PECVD furnace system

電爐類型:高溫電爐系列

電爐規格:

加熱溫度:

電爐系列:賽特瑞電爐

應用范圍:。


全國熱線

產品簡介 / Introduction

Brief Introduction of PECVD furnace systemPCVED by microwave or radio frequency make gas ionization containing film the constituent atoms,in a local plasma formation,and plasma chemical activity is very strong,is easy to react,sedimentary out the desired film on substrate,it widely used product high quality sio2 film,si3N4 film,diamond film,hard thin film,optical thin film and CNT etc.
Technical Parameter:
Split Tube furnace · Input power: 208 – 240V AC, 1.2kW
· 1200°C Max. working temperature for < 60 minutes
· 1100°C Max for continuous heating
· High purity quartz tube 2"OD x 1.7"ID x 39.4" Length
· 30 segments programmable precision digital temperature controller
8" (200mm), single zone. 2.3" (60mm)
Plasma RF Generator · Output Power: 5 -300W adjustable with ± 1% stability
· RF frequency: 13.56 MHz ±0.005% stability
· Reflection Power: 200W max.
· Matching: Automatic
· RF Output Port: 50 Ω, N-type, female
· Noise: <50 dB.
· Cooling: Air cooling.
· Power : 208-240VAC, 50/60Hz
Vacuum Flange and Fittings · Vacuum flange set is made of stainless steel 304.
· Left flange assembly includes a KF-25 vacuum port, two KF-25
· quick clamp,
· a KF-25 right angle valve, a KF-25 vacuum bellows, a flange
· support 1/4 O.D
· hose fitting, and a needle valve.
Vacuum Pump · AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W
· 2 Liter /S or 120 liter/m
Oil trap (inlet) and exhaust filter (outlet) are installed.
Warranty One year limited warranty with lift time support (Consumable parts such
as processing tubes, o-rings and heating elements are not covered
by the warranty, please order the eplacement at related products below.)

We have a wide range of different optional function furnace to meet different heating requirement, also we accept customer design furnace R&D working, please email us your specific requirement, we will recommend most reasonable choice for you, thanks!






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成功案例Success stories

洛陽賽特瑞智能裝備有限公司始終致力于尖端高溫及加熱產品綜合解決方案。憑借整個集團雄厚的綜合實力、優秀的技術、完善的服務體系,成就了洛陽賽特瑞智能裝備有限公司可靠的品質。我們生產的質量好,效率高,節能環保,深受國內外廣大客戶的歡迎。價格多少錢一臺? 需要根據詳細技術方案確定

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生產基地production base

洛陽賽特瑞智能裝備有限公司目前共有90余種實驗室設備產品:高溫馬弗爐、、高溫管式爐、氣氛爐、真空爐、熱震爐、結晶爐、火試金爐、箱式爐,常規品足量半成品儲備,快至3個工作日發貨,定制品承諾按期交貨;可根據客戶對產品環境測試的需求,為客戶量身定制性價比高的解決方案及非標定制服務。

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