產品型號：STR-MTF6-12-3Z小型滑動式CVD系統
電爐類型：高溫管式爐
電爐規格：
加熱溫度：1200
電爐系列：賽特瑞電爐
應用范圍：STR-MTF6-12-3Z小型滑動式CVD系統由1200度滑動式開啟式真空管式爐，混氣系統，真空及壓力系統等組成。此小型滑動式CVD系統燒結溫度可達1200℃，通過滑動爐體來實現快速的升降溫；配置不同的真空系統來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。。
STR?MTF6-12-3Z小型滑動式CVD系統由1200度滑動式開啟式真空管式爐，混氣系統，真空及壓力系統等組成。此小型滑動式CVD系統燒結溫度可達1200℃，通過滑動爐體來實現快速的升降溫；配置不同的真空系統來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。
主要技術參數：
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電爐名稱 |
小型滑動式CVD系統 |
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電爐型號 |
STR-MTF6-12-3Z |
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爐體結構 |
雙層爐殼間配有風冷系統，有效保證外殼表面溫； 真空吸附成型的高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩 爐子可以手動從一端滑向另一端，實現快速的加熱和冷卻 支撐兩端安裝油壓緩沖器 爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料 |
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電源 |
電壓：AC220V?50、60Hz；功率：4KW |
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爐管 |
高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數極小 尺寸：Φ40、60、80、100*1200mm |
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法蘭及支撐 |
SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷 可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合 |
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加熱系統 |
加熱元件采用摻鉬的鐵鉻鋁合金加熱絲(OCr27Al7Mo2)，加熱溫度可達1200℃。表面負荷高、經久耐用 加熱區長度：440mm 恒溫區長度：200mm 工作溫度：≤1150℃ 設計溫度：1200℃ 升溫速率：10℃/min |
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溫控系統 |
溫度控制采用人工智能溫控儀表，具有PID調節、自整定功能30段升降溫程序 測溫元件：K型熱電偶 恒溫精度：±1℃ |
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混氣系統 |
三路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制 內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用304不銹鋼管，接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量 流量規格：0~1SLM 流量精度：±1.5% |
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真空系統 |
采用雙極旋片真空泵，真空度可達5x10-1?Torr 數顯式真空壓力表 可選高真空系統及真空計，壓力控制系統等 |
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可選配件 |
混氣系統,中、高真空系統，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀。 |
真空氣氛電阻爐 熱重分析爐 石墨鋰電負極材料箱式氣氛爐 硅碳負極預碳化爐
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小型CVD系統是由小型CVD系統供應商洛陽賽特瑞智能裝備有限公司生產的,洛陽賽特瑞智能裝備有限公司可以加熱到1200度
小型CVD系統是由小型CVD系統生產廠家洛陽賽特瑞智能裝備有限公司生產的,可以聯系我們獲得電子版操作說明，以及遠程視頻指導
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